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SNE-4500M Mini-SEM 
[제조사 : sec]

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  [Application]
  • 금속 / 재료소재
    - 금속소재, 세라믹재료, 제약, 섬유
    - 미세결정 입자 및 형태, 구조 분석
  • 반도체 / MEMS
    - Wafer, Bonding wire, LED, Nano tech
    - CNT (Carbon nano tube), Micro-pattern
  • 국방과학 및 교육
  • 환경 / 에너지
    - Solar cell, 2차전지, 환경공학
  • 바이오 / 의료
    - Animal & Plant cell, Bacteria
    - Cosmetic
 
[Ordering Information]
Cat. # 제 품 명  
 4500M SNE-4500M Mini-SEM 견적요청

국내 최초로 개발된 Mini-SEM (탁상형 주사현미경)
일반 현미경의 Module를 소형화한 compact design

  • 간결하고 손쉬운 구성으로 편리성 강조
  • 마우스활용을 이용한 배율 증감 조정
  • Auto-start, Focus, Spot mode 등의 자동기능 탑재
  • 저장한 이미지를 open하여 수정할 수 있는 S/W 탑재


  [주요 특징]
  • 최대배율 100,000 배 구현
  • 미세입자 구조 분석에 최적
  • Mini-SEM 유일 5-axis stage 구축 (Tilt 구현)
    - X, Y(40 mm), R(360º), Tilt(45º), Z(0 ~ 35 mm)
  • Variable Aperture (30, 50, 100, 200㎛) 장착
    - Beam spot size 조정으로 고분해능 영상 구현
  • 자동화 기능 구현
    - Focus, Contrast, Contrast / Brightness
    - Spot size, Stigmator
  • 폭 넓은 Chamber 구성으로 다양한 Sample 분석 (option)
    - EDS, BSE, Motorized stage etc. 다양한 확장성
  • 마우스 조작으로 간편하고 다양한 이미지 측정 및 분석

 


 
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SNE-4500M & MCM-200 Coater Operation
 

[User Interface]  
  • 사용절차 : Sample 확인[CCD 카메라] → Magnification → Focus → Contrast & Brightness
                    → High Scan mode → Save
  • 사용자(기본, 고급) 모드 구성으로 접근성이 편리하며, 화면상에서 Mouse (wheel, drag)만으로
    초점, 배율, 자동이동 기능 구현
  • Mearsurement (길이, 면적, 각도, Text..), Archives, Image 편집 S/W, EDS Mode 기능 구성

[IMAGE EXAMPLE]      
1. Particle Measurement and Characteristic Analysis    
  - Industrial Powder - High Molecule, Nano Powder
- Battery Electrode / Pharmaceutical and Biological
 
  Latex Silicon Powder Nano Powder Lactic Acid Bacteria
2. Material Science and Failure Analysis    
  - Metal / Plastic and Ceramic / Film
- Bio-science
 
  Ceramic Sea Animal Rice Flower's Stamen
3. Fiber Observation    
  - Carbon Fiber / Glass Fiber
- CNT (Carbon Nano Tube)
 
  Fiber Nano Wire Carbon Nano Tube Fiber
4. Electronic Component Observation and Failure Analysis  
  - BGA / PCB / LED / Wafer
- Bonding Wire / Micro-Electronics
 
  Pattern BGA Chip Solar Cell Wire Bonding


[Comparison of SE and BSE Image] - BSE Detector(Solid state type)  
1. SE (Secondary Electron) - 2차 전자  
  - 요철에 의한 정보로 이미지 형성, 주로 표면형상 관찰로 전체적인 이미지 구성에 가장 널리 사용
 
2. BSE (Backscattered Electron) - 후방산란(반사) 전자  
  - 시편을 이루고 있는 성분(원자번호)에 의해 이미지가 형성되며 원자번호 차이가 20 이상이면
  인접상의 구별이 가능함
 


[SPECIFICATION]  
 Model    SNE-4500M
  Electron System   
   Resolution  5 nm (30 kV, SE Image)
 Magnification  30 x ~ 100,000 x
 Acceleration voltage  5 ~ 30 kV (5 / 10 / 15 / 20 / 30 - 5 steps)
 Signal detection    Secondary electron image (SEI)
 Backscattered electron image (BSE) - option
 Observation mode  Standard mode
 Electron gun  Pre-centered tungsten filament cartridge
 Lens system   Two-stage electromagnetic condenser lens
 One-stage electromagnetic objective lens
  Stage System
   Stage traverse  5-axis system
  - X, Y-axis: 40 mm / R-axis: 360º / T-axis: 0 ~ 45º / Z-axis: 0 to 35 mm
  - Image shift: ±150㎛
 Max. sample size  80 mm in diameter x 35 mm in height
  Image System
   Frame memory  High speed mode (320 x 240): 10 frame / sec (Preview mode)
 Low speed mode (640 x 480): 1 frame / sec
 Photo mode 1 (1280 x 960): 1 frame / sec
 Photo mode 2 (2560 x 1920): 1 frame /sec
 Sampling photo mode 3 : 1 frame / sec
 Automation function  Auto start, Auto focus, Auto stigmator, Auto contrast & Brightness
 Image format  BMP, JPG, PNG, TIFF
 Data display  Magnification, Detector type, Accelerating voltage, Vacuum mode
 Logo(text), Date and time, Micron marker
  Vacuum System
   Vacuum mode  High vacuum system
 Vacuum pump  Rotary pump + Turbo molecular pump [Full Automation System]
  Control System
   OS  Microsoft Windows® 7
 CPU  Intel® CoreTM
 Memory / HDD  4GB / 500GB
 Interface connector  USB 2.0
  Dimensions and Weight
   Main unit  390(W) x 380(D) x 560(H)mm, 88kg
 Controller unit  390(W) x 325(D) x 560(H)mm, 37kg
 Rotary pump  400(W) x 160(D) x 340(H)mm, 24kg
 Installation room  Room temperature : 15℃~30℃ / Humidity : 70% or less
 Electric power : Single phase 200~240 AC, 1KW, 50/60Hz

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