COXEM EM-30 Mini-SEM - 최대배율: 100,000 배 구현 (유효배율: 50,000 배) - 고심도, 고해상도의 수준높은 영상제공 - Secondary Electron (2차전자영상 - SE) - EDS system 장착을 통한 성분분석 (optional)

COXEM EM-30N Mini-SEM - 최대배율: 150,000 배 구현 (유효배율: 70,000 배) - 고심도, 고해상도의 수준높은 영상제공 - Secondary Electron (2차전자영상 - SE) - Back Scattered Electron (BSE) - EDS system 장착을 통한 성분분석 (optional)

GSEM G10 Ion Sputter Coater - 코팅두께 신뢰성 최적화로 샘플손상 최소화 - 20 sec, 40 sec, 60 sec 3단계 코팅조건 설정 - Sample Loading Size - Max. 50mm

GSEM G20 Ion Sputter Coater - 코팅두께 신뢰성 최적화로 샘플손상 최소화 - 터치패널 디스플레이로 조작 간편 - Sample Loading Size - Max. 53mm

Bruker EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer) - Detector - LN2(액체질소)를 사용하지 않는 SDD Type - 정성·정량분석, Multi-point Analysis, Line Scan, Mapping   Report 기능 지원