엠제이리서치
오시는길 문의하기 동영상자료실 자료실 회사소개 홈
엠제이리서치
엠제이리서치
분석/측정장비
(Analytical Equipments)
엠제이리서치의 새로운 홈페이지
www.mjr.co.kr 바로가기

 
 
 
 
 
 
 
 

 

EM-30 Mini-SEM 
[제조사 : COXEM]

돌아가기

EM-30
 
  [Application]
  • 금속 / 재료소재
    - 금속소재, 세라믹재료, 제약, 섬유
    - 미세결정 입자 및 형태, 구조 분석
  • 반도체 / MEMS
    - Wafer, Bonding wire, LED, Nano tech
    - CNT (Carbon nano tube), Micro-pattern
  • 국방과학 및 교육
  • 환경 / 에너지
    - Solar cell, 2차전지, 환경공학
  • 바이오 / 의료
    - Animal & Plant cell, Bacteria
    - Cosmetic
 
[Ordering Information]
Cat. # 제 품 명  
 EM-30 EM-30 Mini-SEM 견적요청

누구나 쉽게 사용할 수 있는 Mini-SEM (탁상형 주사현미경)
일반 현미경의 Module를 소형화한 compact design

  • 간결하고 손쉬운 구성으로 편리성 강조
  • 마우스활용을 이용한 배율 증감 조정
  • Auto-start, Focus, Spot mode 등의 자동기능 탑재
  • 저장한 이미지를 open하여 수정할 수 있는 S/W 탑재


  [주요 특징]
  • 최대배율 100,000 배 구현
  • 전자현미경의 긱본에 충실한 고성능, 실속형 모델
  • Secondary Electron (2차전자영상 - SE)
  • 자동화 (X, Y, Tilt) stage를 통한 신속한 샘플이동
    Navigation holder map 및 카메라를 통한
    손쉬운 샘플추적
  • 높은 수준의 진공시스템으로 진공까지 3분 소요
    SEM 내부 터보펌프, 외부 로타리 펌프를 이용
  • 자동화 기능 구현
    - Focus, Contrast, Contrast / Brightness
    - Spot size, Stigmator
  • 폭 넓은 Chamber 구성으로 다양한 Sample 분석 (option)
    - EDS, BSE 등 다양한 확장성
  • 마우스 조작으로 간편하고 다양한 이미지 측정 및 분석
  • 제품 설치 부터 교육, 운영관리까지 3시간이면 충분
    설치 30분, 현장 실습교육, 원격지원 서비스 제공

[Mini-SEM의 장점]

  • 저렴한 가격 및 유지비용 부담 최소화
  • 손쉬운 조작으로 다수인원 공동 사용 가능
  • 설치면적 최소화 및 별도의 유틸리티 구축이 필요업음
  • 국내 제품으로 신속한 서비스 및 안정적 유지관리
  • 외부분석 (출장, 예약, 비용)의 부담 해소
  • 신속, 실시간 분석 가능
 


 
제품 동영상 동영상 자료실 가기  
Tabletop SEM Intro - Model EM30 series
 

[User Installation]    
SEM EM30 + PC
SEM EM30 + PC + Coater G20

 


[User Interface]  




[IMAGE EXAMPLE]      
         
 
Battery powder   Electronics
 
Nano particle   Nano powder
 
Pattern   Si Wafer
 
Solder ball   Wafer
 
Powder   Solar cell
 
Metal surface - SE mode   Metal surface - BSE mode
 
Display board - SE mode   Display board - BSE mode
     



[SPECIFICATION]  
 Model  EM-30 EM-30N
     Performance  
   Resolution : 5.0 nm (at 30kV)
 Magnification : x20 to x100,000
 (유효배율 : x50,000)
 Magnification : x20 to x150,000
 (유효배율 : x70,000)
 Accelearating Voltage : 1 to 30kV
 (1/3/5/10/15/20/30kV-6steps)
 Accelearating Voltage : 1 to 30kV
 (Adjustable in 1kV step)
 Electron Gun : Tungsten(W), Pre-Align Cartridge Filament
 Images : SE Detector
   Secondary Electron (2차전자영상 - SE)
  Images : SE, BSE (Multi-detector)
   Secondary Electron (2차전자영상 - SE)
   Back Scattered Electron (BSE)
     Electron Optics
   Filament : Tungsten(W) Hairpin type
 Lens System : Second Reducing System
     Specimen  Stage 
   X, Y, R, Z, T : 5-axis control
  - X (35mm), Y (35mm) - Auto Stepper Motor Stage 
  - Tilt(0 ~ 45°) - Auto Stepper Motor Stage 
  - Rotation (360°) - Beam Rotation
  - Z (5~50mm) - Manual
 Working Distance : 5 ~60mm
 Specimen Size(Max) : 70mm(W) x 45mm(H)
     Image Display 
   Scan Mode : 320x240 (Reduced mode), 640x480 (TV mode), 800x600 (Slow screen),
                     1280x960, 2560x1920, 5120x3840 (Photo screen capture mode 1. 2. 3)
 Image Format : JPEG, TIFF, BMP, PNG
 Image Display : 22" LCD Monitor
 Control System : PC Controlled by USB
 Operating System : Windows 7, Windows 10
  S/W : 길이, 각도, 면적 측정가능
     Processing Mode 
   Automatic Control
  - Auto Start, Focus, Brightness & Contrast 
 Holder Map Navigation
  - Sample Holder Map : Click and Go
 Mouse wheel Zoom In/Out
  Automatic Control
  - Auto Start, Focus, Brightness & Contrast 
 Duplex Navigation
  - Sample Snap Shot Function: Click and Go
 Panorama Shot
- Auto moving save: Large ared image mixing
 Image Dispaly
  - SE & BSE Image: Mixing, Dual Display, Save
     Vacuum System
   Vacuum System : Fully Automation 
  - Turbo Molecular pump : 1unit (80L/sec) 
  - Rotary Pump : 1unit (100L/sec)
  - High Vacuum Mode
 Vacuum System : Fully Automation 
  - Turbo Molecular pump : 1unit (80L/sec) 
  - Rotary Pump : 1unit (100L/sec)
  - High & Low Vacuum Mode
     General
   Dimensions : 400 x 600 x 550 mm, 85 kg
   Power : 220 V, 50 / 60 Hz

̸ġ