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SNE-3000MB Mini-SEM 
[제조사 : sec]

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  [Application]
  • 금속 / 재료소재
    - 금속소재, 세라믹재료, 제약, 섬유
    - 미세결정 입자 및 형태, 구조 분석
  • 반도체 / MEMS
    - Wafer, Bonding wire, LED, Nano tech
    - CNT (Carbon nano tube), Micro-pattern
  • 국방과학 및 교육
  • 환경 / 에너지
    - Solar cell, 2차전지, 환경공학
  • 바이오 / 의료
    - Animal & Plant cell, Bacteria
    - Cosmetic
 
[Ordering Information]
Cat. # 제 품 명  
 3000MB SNE-3000MB Mini-SEM 견적요청

국내 최초로 개발된 Mini-SEM (탁상형 주사현미경)
일반 현미경의 Module를 소형화한 compact design

  • 간결하고 손쉬운 구성으로 편리성 강조
  • 마우스활용을 이용한 배율 증감 조정
  • Auto-start, Focus, Spot mode 등의 자동기능 탑재
  • 저장한 이미지를 open하여 수정할 수 있는 S/W 탑재


  [주요 특징]
  • 최대배율 30,000 배 구현
  • BSE Detector 전용 SEM (4Q-Solid state)
    - 후방산란전자를 이용한 반사영상 이미지 제공
  • 부도체 시료의 전처리 없이 Non-Coating 시료분석 가능
    - Standard / Charge-up reduction mode 지원
    - Cooling stage 장착을 통한 수분시료 분석가능
  • 시료교체 후 영상획득시간 2분대 구현
    - High & Low vacuum System
  • Chamber CCD Camera 장착
    - 시료실 내부관찰, 시료관측, 충돌방지 기능 구성

 


 
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SNE-4500M & MCM-200 Coater Operation
 

[User Interface]  
  • 사용절차 : Sample 확인[CCD 카메라] → Magnification → Focus → Contrast & Brightness
                    → High Scan mode → Save
  • 사용자(기본, 고급) 모드 구성으로 접근성이 편리하며, 화면상에서 Mouse (wheel, drag)만으로
    초점, 배율, 자동이동 기능 구현
  • Mearsurement (길이, 면적, 각도, Text..), Archives, Image 편집 S/W, EDS Mode 기능 구성

[IMAGE EXAMPLE]      
1. Particle Measurement and Characteristic Analysis    
  - Industrial Powder - High Molecule, Nano Powder
- Battery Electrode / Pharmaceutical and Biological
 
  Latex Silicon Powder Nano Powder Lactic Acid Bacteria
2. Material Science and Failure Analysis    
  - Metal / Plastic and Ceramic / Film
- Bio-science
 
  Ceramic Sea Animal Rice Flower's Stamen
3. Fiber Observation    
  - Carbon Fiber / Glass Fiber
- CNT (Carbon Nano Tube)
 
  Fiber Nano Wire Carbon Nano Tube Fiber
4. Electronic Component Observation and Failure Analysis  
  - BGA / PCB / LED / Wafer
- Bonding Wire / Micro-Electronics
 
  Pattern BGA Chip Solar Cell Wire Bonding


[Comparison of SE and BSE Image] - BSE Detector(Solid state type)  
1. SE (Secondary Electron) - 2차 전자  
  - 요철에 의한 정보로 이미지 형성, 주로 표면형상 관찰로 전체적인 이미지 구성에 가장 널리 사용
 
2. BSE (Backscattered Electron) - 후방산란(반사) 전자  
  - 시편을 이루고 있는 성분(원자번호)에 의해 이미지가 형성되며 원자번호 차이가 20 이상이면
  인접상의 구별이 가능함
 


[SPECIFICATION]  
 Model    SNE-3000MB
  Electron System   
   Resolution   20 nm (30 kV, BSE Image)
 Magnification  30 x ~ 30,000 x
 Acceleration voltage  5 ~ 30 kV (5 / 10 / 15 / 20 / 30 - 5 steps)
 Signal detection
 Backscattered electron image (BSE)
 Observation mode  Standard mode
 Charge-up reduction mode
 Electron gun  Pre-centered tungsten filament cartridge
 Lens system   Two-stage electromagnetic condenser lens
 One-stage electromagnetic objective lens
  Stage System
   Stage traverse  3-axis system
  - X, Y-axis: 35 mm / R-axis: 360º
  - Image shift: ±150㎛
  - Chamber CCD Camera 구성
  - T-axis : 0 to 45°(Option)
 Max. sample size  70 mm in diameter x 30 mm in height
  Image System
   Frame memory  High speed mode (320 x 240): 10 frame / sec (preview)
 Low speed mode (640 x 480): 1 frame / sec
 Photo mode 1 (1280 x 960): 1 frame / sec
 Photo mode 2 (2560 x 1920): 1 frame /sec
 Sampling photo mode 3 : 1 frame / sec
 Automation function  Auto start, Auto focus, Auto stigmator, Auto contrast & Brightness
 Image format  BMP, JPG, PNG, TIFF
 Data display  Magnification, Detector type, Accelerating voltage, Vacuum mode
 Logo(text), Date and time, Micron marker
  Vacuum System
   Vacuum mode  High & low vacuum system
 Vacuum pump  Rotary pump + Turbo molecular pump [Full Automation System]
  Control System
   OS  Microsoft Windows® 7
 CPU  Intel® CoreTM
 Memory / HDD  4GB / 500GB
 Interface connector  USB 2.0
  Dimensions and Weight
   Main unit  390(W) x 380(D) x 560(H)mm, 80kg
 Controller unit  390(W) x 325(D) x 560(H)mm, 37kg
 Rotary pump  400(W) x 160(D) x 340(H)mm, 24kg
 Installation room  Room temperature : 15℃~30℃ / Humidity : 70% or less
 Electric power : Single phase 200~240 AC, 1KW, 50/60Hz

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