[Ordering Information] Cat. # 제 품 명   410-EDS Detector 410 EDS 견적요청 Mini-SEM을 위해서 특별히 제작된 Detector   [주요 특징] Detector - LN2(액체질소)를 사용하지 않는 SDD Type 원소검출 범위 Boron(5) ~ Americium(95) 원소의 함량을 atomic % 와 weight %로 출력 Spectrum Resolution (분해능) - 128 ~ 133eV 이하<*MnKa 기준> 거친표면, 평탄한 표면, 작은입자 분석 가능 시료분석을 위해 시료를 기울일 필요가 없음 1 ~ 30 kV 까지 고전압 및 저전압 하에서 측정가능 Window - SUTW (Super Ultra Thin Window) 최대 X-ray 처리량 - 1,000,000 cps 정성·정량분석, Multi-point Analysis, Line Scan, Mapping, Report 기능 지원

[분석기능]

정성 / 정량 분석 - Sample 에 대한 성분과 함얄을 1분 내의 빠른 시간안에 분석 - 점, 면, 특정영역 등의 다양한 Scan 방법으로 영역의 정보를 분석 SEM 이미지 획득 - 최대 8,192 x 6,400 픽셀의 고해상도 이미지를 다양한 파일 형식으로 저장 Mapping - Sample의 성분분포를 서로 다른 컬러 이미지로 표현 - 각 성분의 위치정보를 쉽게 이해 - 1분이내의 짧은 시간안에 원하는 모든 정보를 실시간으로 수집 Line Scan - Sample의 성분분포를 확인하는 다른 방법으로 지정한 직선을 따라서 분석시행 - 각각의 성분에 대한 분포를 뚜렷하게 구분 Multi-point Analysis - Sample에서 분석하려 하는 여러위치를 점, 면, 임의의 다양한 스캔영역으로 미리 지정 - 스캔영역에 대한 분석 및 저장을 동시에 수행 Report - 한번의 버튼 클릭으로 정성정량, 이미지, Mapping, Line-scan 등의 결과를 다양한 형식의 report 로 저장

SEM 이미지 획득	정성분석	정량분석
Multi-point 분석	Line Scan	Mapping