엠제이리서치
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G20 Ion Sputter Coater
[제조사 : GSEM] |
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[Ordering Information] |
Cat. # |
제 품 명 |
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G20 |
G20 Ion Sputter Coater |
견적요청 |
[주요 특징]
- 전도성이 없는 시료 및 전도성이 약한 시료의 표면에
플라즈마를 생성하여 금속박막을 형성
-
전자현미경 분석 시 필수적으로 거쳐야 하는
전처리 장비
- 7인치의 터치스크린으로 손쉬운 조작
- 한번의 Touch 만으로 진공 → 자동코팅 → Vent
- Library 기능으로 자주 사용하는 조건 저장
- Φ14mm 의 Sample Stub 총 7개 동시 장착
- 1~10mA의 저 전압 코팅으로 시료의 손상방지
- Compact 한 제품 Size 로 설치공간 최소화
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[SPECIFICATION] |
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Technical Data |
G20 |
Degree of Vacuum |
2.0 x 10-1tor |
Ion Current |
1 to 10mA (1mA/step) |
Target Material |
Au or Pt |
Chamber size |
Φ140mm(D) x 100mm(H) |
Sample Stage |
Φ50mm(D) x 30mm(H) |
Target Size |
Φ53mm(D) x 0.1(T) |
Sputter Time |
1 to 600sec (5sec/step) |
Vacuum Pump |
100L/min, Rotary Pump(without) |
Dimensions (W x D x H) |
380(W )x 240(D) x 250(H)mm, 10 kg |
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